關于潔凈室氣流

潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，即人、機器隔間、建筑結構等產生的塵埃的移動、擴散受到氣流的支配。一般潔凈室氣流的速度是選0.25-0.5m/s之間，此流速屬微風區域，易受人、機器等的動作干擾而趨于混亂，為了使潔凈室的潔凈度處于達標狀態，保持潔凈室氣流的均一性就顯得尤為重要。

例：垂直層流式方向要保持均一氣流須做到：（a）吹出面的風速不可有速度上的差異；（b）地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現象發生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一。一般無塵室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。

應注意的是，一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點應設于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處，這樣的話作業人員工作時，氣流可從制程區內部流向作業區，而將微塵帶走；如果分流點配置在制程區前方，將成為不當的氣流分流，此時大部分的氣流將流至制程區之后，作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。

此外，潔凈室內的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現象發生，相對地在這附近的潔凈度將會變差，我們可以在在工作桌面鉆上回風孔，將使渦流現象減低；另外組裝材料的選擇是否恰當、設備布局是否完善，也是氣流是否成為渦流現象的重要因素。

了解更多潔凈室氣流的知識可參照宏瑞科技前期文章【潔凈室氣流流型的檢測目的和方法】。